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传感器的几种常见分类

振动传感器 2020-06-01 74 0

  按照其用途,传感器可分类为:

  压力敏和力敏传感器、位置传感器、液面传感器、能耗传感器、速度传感器、热敏传感器、加速度传感器、射线辐射传感器、振动传感器、湿敏传感器、磁敏传感器、气敏传感器、真空度传感器、生物传感器等。

  以其输出信号为标准可将传感器分为:

  模拟传感器--将被测量的非电学量转换成模拟电信号。

  数字传感器--将被测量的非电学量转换成数字输出信号(包括直接和间接转换)。

  膺数字传感器--将被测量的信号量转换成频率信号或短周期信号的输出(包括直接或间接转换)。

  开关传感器--当一个被测量的信号达到某个特定的阈值时,传感器相应地输出一个设定的低电平或高电平信号。

  在外界因素的作用下,所有材料都会作出相应的、具有特征性的反应。它们中的那些对外界作用最敏感的材料,即那些具有功能特性的材料,被用来制作传感器的敏感元件。从所应用的材料观点出发可将传感器分成下列几类:

  (1)按照其所用材料的类别分

  金属、聚合物、陶瓷、混合物

  (2)按材料的物理性质分

  导体、绝缘体、半导体、磁性材料

  (3)按材料的晶体结构分

  单晶、多晶、非晶材料

  (4)按照其制造工艺分

  集成传感器、薄膜传感器、厚膜传感器、陶瓷传感器

      集成传感器是用标准的生产硅基半导体集成电路的工艺技术制造的。通常还将用于初步处理被测信号的部分电路也集成在同一芯片上。

      薄膜传感器则是通过沉积在介质衬底(基板)上的,相应敏感材料的薄膜形成的。使用混合工艺时,同样可将部分电路制造在此基板上。

      厚膜传感器是利用相应材料的浆料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后进行热处理,使厚膜成形。

      陶瓷传感器采用标准的陶瓷工艺或其某种变种工艺(溶胶-凝胶等)生产。

      备注:完成适当的预备性操作之后,已成形的元件在高温中进行烧结。厚膜和陶瓷传感器这二种工艺之间有许多共同特性,在某些方面,可以认为厚膜工艺是陶瓷工艺的一种变型。

  每种工艺技术都有自已的优点和不足。由于研究、开发和生产所需的资本投入较低,以及传感器参数的高稳定性等原因,采用陶瓷和厚膜传感器比较合理。

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